Ko te WF6 te nuinga e whakamahia ana hei rauemi mata mo te mahi whakangao matū (CVD) o te tungsten whakarewa i roto i te umanga hiko. Ko te WSi2 i hangaia mai i te WF6 ka taea te whakamahi hei taputapu waea i roto i nga waahanga whakauru nui (LSI), ka taea hoki te whakamahi hei rauemi mata mo nga electrodes semiconductor, fluorine Raw Materials mo nga kaihoko matū, polymerization catalysts, optical materials, etc.